生產的系列熱工設備：

全功能微控擴散系統

【產品簡介】

    該系統式生產半導體器件和大規模集成電路的重要工藝設備,廣泛應用于半導體器件的擴散、氧化、退火、燒結等工藝，也可用于磁性材料的燒結及機械行業的淬火、冶金行業的燒結。 

    控溫采用研制的高精度電腦控制系統，產品質量可靠，控制穩定，操作簡單，維修方便。

【產品特點】  

●工藝溫度段數：1—14段，可選段運行

●單段時間范圍：1—1080min/斜變段 1—9999min/恒溫段

●三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值

●三個溫度測控點獨立修正溫度測量值

●PID參數，溫度修正量可在線修改

●溫度設定單位：℃  分辨率：0.1℃

●工藝段時間設定單位：min，分辨率1min

●各類工藝數據斷電后長期保存

●工藝氣體流量，推拉舟運動狀態有微機實行閉環控制

●中文顯示各類提示信息

【主要技術指標】

●擴散爐管數：1—4管/臺

●爐管內徑：Φ90—Φ240mm

●恒溫區長度：≤600mm±1℃（300-#-800℃） 

             ≤600mm±0.5℃（800-#-1250℃）

●單點穩定性：±1℃/24h（300-#-800℃）

             ±0.5℃/24h（800-#-1250℃）

●氣源路數：≤6路/管

●氣源控制：MFC或浮子流量計

●推拉舟行程：1500mm

●推拉舟速度范圍及精度：（1—1000）±3mm

●推拉舟位置控制精度：≤3mm

●冷卻方式：水冷+風冷