離子濺射儀（磁控）/中西器材 型號:M363284可下載視頻庫號：M363284 查看hh
此款小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導電膜（如金膜）或材料鍍膜。采用磁控冷態濺射，基本不升溫，保護樣品。
離子濺射儀（磁控）/中西器材 型號:M363284可下載視頻庫號：M363284 查看hh此款小型磁控離子濺射儀主要用于SEM制樣樣品鍍導電膜（如金膜）或材料鍍膜。采用磁控冷態濺射，基本不升溫，保護樣品。主要特點:顯示操作面為30°斜面，考慮操作的便捷和視覺體驗，方便觀察操作；真空泵連接管路為金屬波紋管；微調閥調節，帶有刻度標識；真空泵抽速快，適合實驗室使用；控制電路為控制板；顯示控制操作部分，位于同側；磁控冷態濺射，基本不升溫，保護樣品；參數:1.樣品室空間：直徑150mm×高120mm2. 可配Pt靶（另購），靶材尺寸：φ50mm×0.1mm3.真空控制電路設計，實現真空度和濺射電流，互鎖，可調電流40mA；4.侵入式磁控低溫離子源，可換靶材，環繞暗區護罩；5.使用計|時控制器，可調設置范圍:1-500秒，連續可調6.自動真空泄氣功能，自動排氣，可通過數字定時器進行控制7.真空泵，抽速8.5m3/h，可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統8.微型真空氣閥：微量流量閥，精度±0.1Pa
