| 產品介紹 | |
| Xα-VL壓力氣體減壓器。單級膜片式設計;低壓輸入,-25in Hg~0~30psig 小流量輸出,輸出壓力穩定;適用于半導體級高純氣體、毒 性、腐 蝕性、易燃易爆氣體等。 | |
| 主要部件材料 | |
| 閥體 | 316L/316L(VIM+VAR) |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L / UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
| 工作條件 | |
| 進口壓力 | 150psig |
| 出口壓力 | -25in Hg~0~30psig |
| 工作溫度 | -10 ~ 60℃ |
| 內漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數 | 0.09 |
| 內表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
| 產品特點 | |
| 適用于 GC、VMB&VMP | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 內部件選項 | |
| 每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質譜泄漏測試和顆粒物檢測 | |
| 膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封設計,密封性能 | |



































